KDY-20兩探針電阻率測試儀 二探針電阻率測試儀
1、概述
KDY-20型兩探針電阻率測試儀(以下簡稱兩探針儀)是按照我國國家標準及美國材料與試驗協(xié)會(ASTM)SEMIMF397-1106(用兩探針測量電阻率的測量方法)推薦的材料驗收檢測方法“兩探針法”設(shè)計。它適合于測量橫截面尺寸是可測量的,而且棒的長度與橫截面最大尺寸之比不應(yīng)小于3:1。例如橫斷面為圓形、正方形、長方形或梯形的單晶或多晶錠。由于兩探針法的測量電流是從長棒兩端進出,遠離電壓測量探針,因此電流流過金屬與半導(dǎo)體接觸處產(chǎn)生的許多副效應(yīng)(如珀爾帖效應(yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等),對測量的影響較小,因此兩探針法的測量精度一般優(yōu)于四探針法。特別是對多晶材料的測量,由于多晶晶粒間界處,雜質(zhì)局部偏析可能導(dǎo)致電阻率較大變化,這種影響對四探針法更為嚴重,故不推薦用四探針法測量多晶材料的電阻率。
本儀器主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試臺及兩探針頭組成。儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表,在測量電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流開關(guān),在測量某些材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護被測材料。儀器配置了本公司的專利產(chǎn)品:“小游移探針頭”,間距為1.59mm的兩探針頭探針游移率在0.2%以下。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性的準確度。本機可配用KDY兩探針測量系統(tǒng),置入必須的數(shù)據(jù)后,測量軟件會配合探頭在硅棒上移動測量,自動計算各點的電阻率、正反向電阻率平均值、電阻率的最大值、電阻率最小值,最大百分變化,測量數(shù)據(jù)實時存儲在數(shù)據(jù)庫中,可隨時查詢所有測量數(shù)據(jù)或按條件查詢;提供打印及導(dǎo)出格式供用戶選擇,測量快速、精確,用戶在測量使用時會更加方便快捷。
2、技術(shù)參數(shù)
(1)測量范圍:
可測硅晶體電阻率:0.005-10000Ω·cm
可測硅棒尺寸:最大長度300mm;直徑20mm(均可按用戶要求更改)
(2)恒流源:
輸出電流:DC0.001-100mA五檔連續(xù)可調(diào)
量程:0.001-0.01mA(1-10μA)、0.01-0.1mA(10-100μA)、0.1-1.0mA、1.0-10mA、10-100mA
恒流精度:各檔均優(yōu)于±0.05%
(3)直流數(shù)字電壓表:
測量范圍:0-199.99mV
靈敏度:10μV
基本誤差:±(0.004%讀數(shù)±0.01%滿度)
輸入阻抗:≥1000MΩ
(4)電阻測量誤差:≤0.3%
(5)兩探針頭:KDT-9
探針間距:1.59±0.01mm探針直徑Φ0.8mm
游移率:<0.2%探針材料:硬質(zhì)合金(WC)
探針壓力:3±1N/單針
(6)供電電源:
AC220V±10%50/60Hz.功率:12W
不能與未加穩(wěn)壓濾波的大功率、高頻設(shè)備共用電源
(7)使用環(huán)境:
溫度:23±2℃相對溫度:≤65%
無較強的電場干擾,無強光直接照射
(8)重量、體積:
主機重量:7.5Kg
體積:390×340×190(單位:mm長度×寬度×高度)
上海華巖儀器設(shè)備有限公司供應(yīng)KDY-2型兩探針電阻率測試儀 產(chǎn)品簡介
KDY-2型兩探針電阻率測試儀(以下簡稱兩探針儀)是按照我國國家標準儀器采用GB/T 1551-1995硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法及美國材料與試驗協(xié)會(ASTM)推薦的材料驗收檢測方法“兩探針法”設(shè)計。它適用于測量橫截面積均勻的圓形、方形、或矩形單晶錠的電阻率。由于兩探針法的測量電流是從長棒兩端進出,遠離電壓測量探針,因此電流流過金屬與半導(dǎo)體接觸處產(chǎn)生的許多副效應(yīng)(如珀爾帖效應(yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等),對測量的影響較小,因此兩探針法的測量精度一般優(yōu)于四探針法。特別是對多晶材料的測量,由于多晶晶粒間界處,雜質(zhì)局部偏析可能導(dǎo)致電阻率較大變化,這種影響對四探針法更為嚴重,故不推薦用四探針法測量多晶檢驗棒的電阻率。
本儀器主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試臺及兩探針頭組成。儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表,在測量電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流開關(guān),在測量某些材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護被測材料。儀器配置了本公司的產(chǎn)品:“小游移探針頭”,間距為1.59mm的兩探針頭探針游移率在0.2%以下。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性的準確度。本機可配用KDY測量系統(tǒng),設(shè)計語言為VC++,可對四探針、兩探針電阻率測量數(shù)據(jù)進行處理并修正測量數(shù)據(jù),特定數(shù)據(jù)存儲格式,顯示變化曲線、正反向電阻率平均值、電阻率的最大值、電阻率最小值,給測量帶來很大方便。兼容性:適用于通用電腦,支持Windows XP、Vista。
測試儀主機由主機板、電源板、前面板、 后背板、機箱組成。電壓表、電流表、電流調(diào)節(jié)電位器、恒流源開關(guān)及各種選擇開關(guān)均裝在前面面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開關(guān)、兩探針頭及電極引線連接插座、數(shù)據(jù)處理器連接插座及保險管。機箱底座上安裝了主機反電源板,相互間均通過接插件聯(lián)接。
主機技術(shù)參數(shù)
(1)測量范圍:
可測硅晶體電阻率:0.005-50000Ω·cm
可測硅棒尺寸:最大長度300mm;直徑20mm(均可按用戶要求更改)。
(2)恒流源:
輸出電流:DC0.001-100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程: 0.001-0.01mA(1-10μA)
0.01-0.1mA(10-100μA)
0.1-1.0mA
1.0-10mA
10-100mA
恒流精度:各檔均優(yōu)于±0.05%
(3)直流數(shù)字電壓表:
測量范圍:0-199.99mV
靈敏度:10μA
基本誤差:±(0.004%讀數(shù)±0.01%滿度)
輸入阻抗:≥0.3%
(4)電阻測量誤差:≤0.3%
(5)兩探針頭:KDT-9
探針間距:1.59±0.01mm 探針直徑Φ0.8mm
游移率:<0.2% 探針材料:硬質(zhì)合金(WC)
探針壓力:3±1N/單針
(6)供電電源:
AC 220V ±10% 50/60 Hz. 功率:12W
(7)使用環(huán)境:
溫度:23±2℃ 相對溫度:≤65%
無較強的電場干擾,無強光直接照射。
(8)重量、體積:
主機重量:7.5Kg
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上海華巖儀器設(shè)備有限公司供應(yīng)KDY-2型兩探針電阻率測試儀(測鍺錠專用) 產(chǎn)品簡介
KDY-2型兩探針電阻率測試儀是按照我國國家標準及美國材料與試驗協(xié)會(ASTM)推薦的材料驗收檢測方法“兩探針法”設(shè)計。它適合于測量模截面尺寸是可測量的,而且棒的長度大于橫截面線度的有規(guī)則的長棒,例如橫斷面為圓形、正方形、長方形或梯形的單晶或多晶錠。由于兩探針法的測量電流是從長棒兩端進出,遠離電壓測量探針,因此電流流過金屬與半導(dǎo)體接觸處產(chǎn)生的許多副效應(yīng)(如珀爾帖效應(yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等),對測量的影響較小,因此兩探針法的測量精度一般優(yōu)于四探針法。特別是對多晶材料的測量,由于多晶晶粒間界處,雜質(zhì)局部偏析可能導(dǎo)致電阻率較大變化,這種影響對四探針法更為嚴重,故不推薦用四探針法測量多晶材料的電阻率。
本儀器除適合測量體形有規(guī)則的單晶棒外,也適合測量多晶棒。兩探針法測量水平區(qū)熔多晶鍺電阻率,在我國已有四十多年的實踐經(jīng)驗,對區(qū)熔鍺錠橫截面面積的變化已總結(jié)出一套計算方法,本儀器采用李賀成教授提出的計算公式編寫程序,可用微機HQ-710C處理區(qū)熔鍺錠的測量數(shù)據(jù),或采用KDY測量系統(tǒng)專用軟件測數(shù)據(jù),并根據(jù)北京有色金屬研究總院余懷之教授的提議,擴大了微處理機的數(shù)據(jù)處理范圍。
本儀器主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試臺及兩探針頭組成。儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表,在測量電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩(wěn)定。本機配有恒流源開關(guān),在測量某些材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護被測材料。儀器配置了本公司的產(chǎn)品:“小游移探針頭”,間距為10mm的兩探針頭探針游移率在0.02~0.05%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準確度。本機需配用HQ-710C數(shù)據(jù)處理器或KDY測量系統(tǒng)專用軟件,置入必須的數(shù)據(jù)后,處理器會配合探頭在鍺錠上移動測量,自動計算、打印出各點的電阻率、電阻率的最大值、電阻率最小值,給測量帶來很大方便。
主機技術(shù)參數(shù)
(1)測量范圍:
可測電阻率:鍺晶體0.1-100Ω·cm
可測鍺錠尺寸:最大長度700mm;最大高度50mm;最大寬度60mm。
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.004-100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程:0.004-0.01mA
0.04-0.10mA
0.4-1.0mA
4.0-10mA
40-100mA
恒流精度:各檔均優(yōu)于±0.05%
(3)直流數(shù)字電壓表:
測量范圍:0-199.99mV
靈敏度:10μA
基本誤差:±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)
輸入阻抗:≥1000MΩ
(4)電阻測量誤差:≤0.3%
(5)兩探針頭:KDT-5
探針間距:10.00±0.02mm
游移率:0.02-0.05%
探針壓力:4±1N/單針
(6)供電電源:
AC 220V ±10% 50/60Hz 功率:12W
(7)使用環(huán)境:
溫度:23±2℃ 相對溫度:≤65%
無較強的電場干擾,無強光直接照射。
(8)重量、體積:
主機重量:7.5Kg
體積:390×340×190(單位:mm 長度×寬度×高度)
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上海華巖儀器設(shè)備有限公司供應(yīng)KDY-2型兩探針電阻率測試儀(測細硅芯專用) 產(chǎn)品簡介
KDY-2型兩探針電阻率測試儀(以下簡稱兩探針儀)是按照我國國家標準GB/T1551-1995及美國材料與試驗協(xié)會(ASTM)推薦的材料驗收檢測方法“兩探針法”設(shè)計。配套測試架適合于測量硅芯電阻率。兩探針法的測量精度一般優(yōu)于四探針法。
整套儀器有如下特點
1、配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測量顯示電壓的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全過程中的電流變化,使操作更方便,測量更精確。
數(shù)字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)
2、可測電阻率范圍:0.005—50000Ω·cm。
3、測量電流由高度穩(wěn)定(萬分之幾精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響。
電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。調(diào)節(jié)范圍從0.001~100mA
4、儀器采用觸點電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器(>10萬次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù),提高了測試儀的可靠性和使用壽命。
5、可加配HQ-710E微處理機及打印機,實現(xiàn)自動換向測量、求平均值,計算并打印電阻率最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
6、可加配電腦,實現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、自動換向測量、求平均值,計算、存儲并打印電阻率最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
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上海華巖儀器設(shè)備有限公司供應(yīng)成套KDY-2兩探針電阻率測試儀(測檢磷檢硼棒專用)
產(chǎn)品簡介
KDY-2型兩探針電阻率測試儀(以下簡稱兩探針儀)是按照我國國家標準GB/T1551-1995及美國材料與試驗協(xié)會(ASTM)推薦的材料驗收檢測方法“兩探針法”設(shè)計。它適合于測量橫截面面積均勻的圓型,方型或矩形單晶錠(如硅芯、檢磷、硼棒、區(qū)熔鍺錠等)的電阻率,測樣長度與截面最大尺寸之比應(yīng)不小于3:1。由于兩探針法的測量電流是從長棒兩端進出,遠離電壓測量探針,因此電流流過金屬與半導(dǎo)體接觸處產(chǎn)生的許多副效應(yīng)(如珀爾帖效應(yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等),對測量的影響較小,測量結(jié)果為橫截面的平均電阻率,兩探針法的測量精度一般優(yōu)于四探針法。
整套儀器有如下特點
1、配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測量顯示電壓的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全過程中的電流變化,使操作更方便,測量更精確。
數(shù)字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)
2、可測電阻率范圍:0.005—50000Ω·cm。
3、測量電流由高度穩(wěn)定(萬分之幾精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響。
電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。調(diào)節(jié)范圍從0.001~100mA
4、儀器采用觸點電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器(>10萬次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù),提高了測試儀的可靠性和使用壽命。
5、可加配HQ-710E微處理機及打印機,實現(xiàn)自動換向測量、求平均值,計算并打印電阻率最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
6、可加配電腦,實現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、自動換向測量、求平均值,計算、存儲并打印電阻率最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
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