上海華巖儀器設(shè)備有限公司供應(yīng)SZT-1型數(shù)字式四探針測試儀
SZT-1型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理 的多用途綜合測量裝置。它可以測量片狀、快狀半導(dǎo)體材料徑向和軸向電阻率,測量片狀半導(dǎo)體材料的電阻率和擴(kuò)散層的薄層電阻(方塊電阻),換上特制的四探針測試夾,還可以對金屬導(dǎo)體的低中值電阻進(jìn)行測量。此外,探針經(jīng)過特殊加工后,還可以測量薄膜材料電阻率。廣泛適用于半導(dǎo)體材料、器件廠、高等院;瘜W(xué)物理系、科研單位,對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
本儀器測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針,定位準(zhǔn)確,游移率小,使用壽命長。
技術(shù)參數(shù):
1. 測量范圍:
電阻率:10的-4次方~10的3 次方Ω-cm
方塊電阻:10的-3次方 ~10的4 次方Ω/□
電阻:10的-6次方 ~10的5 次方Ω
導(dǎo)電類型鑒別:電阻率范圍 10的-4 次方~10 的3次方Ω—cm
2. 可測半導(dǎo)體材料尺寸
直徑:φ15~100 mm
長度:≤400mm
3. 測量方法:
軸向、斷面均可
4. 顯示方式:31/2,數(shù)顯,極性、過載自動顯示,小數(shù)點、單位自動顯示。
5. 恒流源:
(1) 電流輸出:直流電流0~100 mA連續(xù)可調(diào)。
(2) 量程:10、100μA、1、10、100mA
(3) 誤差:±0.5%讀數(shù)±2個字
6.四探針測試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機(jī)械游移率:±1.0%
7.電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:<35W
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上海華巖儀器設(shè)備有限公司供應(yīng)SZT-2A四探針測試儀 主要說明:
1.主機(jī)采用世界領(lǐng)先的先進(jìn)電路設(shè)計,所測數(shù)值更精、更快、更準(zhǔn)(一代為傳統(tǒng)式電路,缺點:體積大,速度慢,元器件繁多導(dǎo)致影響機(jī)器壽命)。
2.屏幕采用液晶顯示(一代為只有數(shù)碼管顯示),手自一體(自動是標(biāo)配,手動手持是自選)。
3.匹配電腦接口及軟件(有232接口和USB兩種接口),讓操作簡便明了化(可直接連接電腦,電腦進(jìn)行自動運(yùn)算根據(jù)輸入指定厚度,自動比照并修正系數(shù),使被測結(jié)果更精確,數(shù)據(jù)可儲藏或刪除,利于使用方保存記錄)。
4.二代的測試架采用自動傳感裝置,接近被測物體時實行自動減速,避免了被測物體的損耗和探頭的磨損(領(lǐng)先于國內(nèi)市場上任何一款同類產(chǎn)品的測試架,老一代為手動)。
5. 本儀器測試電阻、電阻率、方塊電阻時,標(biāo)準(zhǔn)系數(shù)為隨選擇鍵自動運(yùn)算,無需另外手工調(diào)整,省去了原儀器的諸多麻煩。
6.本儀器的最大分辨率為0.1mΩ。
7.測試探頭為鎢針,市場上多為高速鋼針。
8.每次測量均有內(nèi)置計算機(jī)自動進(jìn)行溫度補(bǔ)償及電壓電流矯正。
9.整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度:≤ 2%(國內(nèi)其它廠家誤差為≤ 5% )
10. 技術(shù)參數(shù):
1). 測量范圍:
電阻率:10的-4次方~10的5 次方Ω-cm
方塊電阻:10的-4次方 ~10的5 次方Ω/□
電阻:10的-4次方 ~10的5 次方Ω
2). 可測半導(dǎo)體材料尺寸
直徑:5mm-130cm
長度:≤400mm
如果使用手持探針,尺寸范圍可以延伸
3). 測量方法:
軸向、斷面均可
4). 顯示方式:41/2,數(shù)顯,極性、過載自動顯示,小數(shù)點、單位自動顯示。
5). 恒流源:
(1) 電流輸出:直流電流0~100 mA
(2) 量程:10、100μA、1、10、100mA
(3) 誤差:±0.5%讀數(shù)±1個字
6).四探針測試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機(jī)械游移率:±1.0%
7).電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:<35W
10.SZT-2A 四探針測試儀器的價格為16800元/套和21800元/套 兩種
21800元/套 為帶電腦接口 <接口功能為當(dāng)硅片的厚度<1mm時自動修正讀數(shù),使得測量出的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率為100%,被測試的數(shù)據(jù)自動生成表格并可以打印,可以隨時保存和刪除。
SZT系列部分客戶名單
客戶名稱
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所屬行業(yè)
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購買使用日期
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武漢理工大學(xué)(國家一級實驗室)
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科研院所
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2007年9月
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中科院寧波材料技術(shù)與工程研究所
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科研院所
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2007年9月
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中科院沈陽金屬研究所
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科研院所
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2007年11月
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解放軍總后建筑工程研究所
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科研院所
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2006年9月
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河北大學(xué)
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大專院校
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2008年1月
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四川大學(xué)
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大專院校
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2008年1月
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天津科技大學(xué)
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大專院校
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2008年4月
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浙江理工大學(xué)
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大專院校
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2008年12月
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朝陽無線電廠
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廠礦企業(yè)
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2007年9月
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晶澳太陽能有限公司
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廠礦企業(yè)
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2007年12月
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世宗半導(dǎo)體(中國)材料有限公司
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廠礦企業(yè)
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2008年1月
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惠聯(lián)高佳光伏科技(無錫)有限公司
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廠礦企業(yè)
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2007年3月
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山東力諾
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廠礦企業(yè)
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2008年5月
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北京同方股份有限公司
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廠礦企業(yè)
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2009年3月
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上海華巖儀器設(shè)備有限公司供應(yīng)SZT-2四探針測試儀 主要說明:
1.主機(jī)采用世界領(lǐng)先的先進(jìn)電路設(shè)計,所測數(shù)值更精、更快、更準(zhǔn)(一代為傳統(tǒng)式電路,缺點:體積大,速度慢,元器件繁多導(dǎo)致影響機(jī)器壽命)。
2.屏幕采用液晶顯示(一代為只有數(shù)碼管顯示)。
3.匹配電腦接口及軟件,讓操作簡便明了化(可直接連接電腦,電腦進(jìn)行自動運(yùn)算根據(jù)輸入指定厚度,自動比照并修正系數(shù),使被測結(jié)果更精確,數(shù)據(jù)可儲藏或刪除,利于使用方保存記錄)。
4.二代的測試架采用自動傳感裝置,接近被測物體時實行自動減速,避免了被測物體的損耗和探頭的磨損(領(lǐng)先于國內(nèi)市場上任何一款同類產(chǎn)品的測試架,老一代為手動)。
5.本儀器電壓檔為自動調(diào)整,電流檔為半自動.不清楚被測物體阻值時,可按菜單先選擇100MA電流檔進(jìn)行自動搜索(電流可由高至低自動搜索,不能由低向高搜索),當(dāng)選擇好電流檔后,電壓會自動進(jìn)行調(diào)整.
6. 本儀器測試電阻、電阻率、方塊電阻時,標(biāo)準(zhǔn)系數(shù)為機(jī)器自帶自調(diào),無需另外手工調(diào)整,省去了原儀器的諸多麻煩。
7.測試探頭為鎢針,市場上多為高速鋼針。
8.每次測量均有內(nèi)置計算機(jī)自動進(jìn)行溫度補(bǔ)償及電壓電流矯正。
9.整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度:≤ 2%(國內(nèi)其它廠家誤差為≤ 5% )
技術(shù)參數(shù):
1. 測量范圍:
電阻率:10的-3次方~10的5 次方Ω-cm
方塊電阻:10的-4次方 ~10的5次方Ω/□
電阻:10的-4次方 ~10的5 次方Ω
2. 可測半導(dǎo)體材料尺寸
直徑:5mm-130cm
長度:≤400mm
3. 測量方法:
軸向、斷面均可
4. 顯示方式:41/2,數(shù)顯,極性、過載自動顯示,小數(shù)點、單位自動顯示。
5. 恒流源:
(1) 電流輸出:直流電流0~100 mA連續(xù)可調(diào)。
(2) 量程:10、100μA、1、10、100mA
(3) 誤差:±0.5%讀數(shù)±1個字
6.四探針測試探頭
(1) 探針間距:1mm
(2) 材料:碳化鎢.探針機(jī)械游移率:±1.0%
7.電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:<35W
8.外型尺寸:260×160×215mm
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