上海華巖儀器設(shè)備有限公司供應(yīng)SJT-A型數(shù)顯勻膠臺
本機(jī)是用于半導(dǎo)體、集成電路及激光全息商標(biāo)制造過程中,在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上進(jìn)行涂布光刻(感光)膠的專用設(shè)備。本機(jī)的工作原理是利用高速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的離心力,將滴于基片上多余的光刻(感光)膠液甩去,在光刻(感光)膠表面張力和離心力的共同作用下,展成厚度均勻的膠膜。本機(jī)具有勻膠效率高、使用方便等優(yōu)點,勻膠速度和勻膠時間分別可調(diào),電器電路具有較高的穩(wěn)定性,結(jié)構(gòu)合理,旋轉(zhuǎn)平穩(wěn),轉(zhuǎn)速、時間采用數(shù)字顯示,直觀性強(qiáng)。本機(jī)可與光刻機(jī)配套使用。
主要技術(shù)參數(shù):
1、工作電壓: 380V/220V
2、整機(jī)功率: 1200W
3、勻膠時間控制范圍: 0.01-99.99秒;0.01-99.99分
4、轉(zhuǎn)速: 0-8000Rpm
5、裝片直徑(可根據(jù)用戶要求定制): ф35-75mm
6、勻膠工位(可根據(jù)用戶要求定制): 1-4工位
7、外形尺寸: 長*寬*高 850*810*1600mm
8、凈重: 120kg
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上海華巖儀器設(shè)備有限公司供應(yīng)SJT-B型臺式數(shù)顯勻膠臺
產(chǎn)品型號 SJT-B型臺式數(shù)顯勻膠臺
SJT系列數(shù)顯勻膠臺是集成電路、半導(dǎo)體電路、掩模版制造、激光全息商標(biāo)制造過程中用于在基片上進(jìn)行光刻膠涂布的專用設(shè)備。
SJT-B型臺式數(shù)顯勻膠臺采用雙轉(zhuǎn)速機(jī)構(gòu):啟動后,先以低速運轉(zhuǎn),使膠攤開,到設(shè)定的時間后,自動轉(zhuǎn)換到高速運轉(zhuǎn),使光刻膠在基片上形成厚度均勻的膠膜。其雙級勻膠速度和時間分別可調(diào)。轉(zhuǎn)速采用數(shù)字顯示,觀看醒目方便。特別適合高等院校、研究機(jī)構(gòu)、實驗室及生產(chǎn)線使用。
主要技術(shù)參數(shù):
1、工作電源: ~220V,50HZ
2、電源功率: 60W
3、裝片直徑: ф10~75mm(可定制)
4、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度: ±5%
5、勻膠時間: 0.01~99.99秒(可調(diào))
6、轉(zhuǎn)速范圍: 1、低速:500~3000RPM(可調(diào)) 2、高速:1500~8000RPM(可調(diào))
7、最大轉(zhuǎn)速: ~8000RPM
8、外形尺寸: 230*270*260mm
9、重量: ~8kg
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